by W. Sextro, M. Brökelmann
Abstract:
Dieses Buch beschreibt basierend auf dem gleichnamigen Innovationsprojekt im Spitzencluster it’s OWL die Entwicklung intelligenter Verfahren und Systeme, um auch unter variablen Produktionsbedingungen eine zuverlässige Massenfertigung von Kupferbondverbindungen sicherzustellen.Dabei wird der gesamte Prozess der Ultraschall-Verbindungsbildung modelliert. Dies beinhaltet u. a. ein Reibmodell mit gekoppeltem Anbindungsmodell, den Ultraschall-Erweichungseffekt und den Verschleiß des Bondwerkzeugs. Zudem wird das Konzept einer selbstoptimierenden Bondmaschine vorgestellt, welche Prozessparameter in Abhängigkeit von Störgrößen wie Verschleiß anpasst.Das Ultraschallbonden mit Aluminiumdraht ist ein etabliertes Fertigungsverfahren zur Kontaktierung von Leistungshalbleitern. Zukünftige Leistungshalbleiterchips erfordern jedoch einen Technologiewechsel zu Kupferdraht. Die Prozessparameter unterscheiden sich dabei deutlich von den bekannten Aluminiumprozessen, ihre Wechselwirkungen sind weitestgehend unbekannt.
Reference:
Sextro, W.; Brökelmann, M.: Intelligente Herstellung zuverlässiger Kupferbondverbindungen. Springer Verlag, volume VIII, 2019.
Bibtex Entry:
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und Systeme, um auch unter variablen Produktionsbedingungen eine
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wird der gesamte Prozess der Ultraschall-Verbindungsbildung modelliert.
Dies beinhaltet u. a. ein Reibmodell mit gekoppeltem Anbindungsmodell,
den Ultraschall-Erweichungseffekt und den Verschleiß des Bondwerkzeugs.
Zudem wird das Konzept einer selbstoptimierenden Bondmaschine vorgestellt,
welche Prozessparameter in Abhängigkeit von Störgrößen wie Verschleiß
anpasst.Das Ultraschallbonden mit Aluminiumdraht ist ein etabliertes
Fertigungsverfahren zur Kontaktierung von Leistungshalbleitern. Zukünftige
Leistungshalbleiterchips erfordern jedoch einen Technologiewechsel
zu Kupferdraht. Die Prozessparameter unterscheiden sich dabei deutlich
von den bekannten Aluminiumprozessen, ihre Wechselwirkungen sind
weitestgehend unbekannt.},
doi = {10.1007/978-3-662-55146-2},
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